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新时代 新征程 新伟业·从实物工作量看“十大战略”调研行 | 打开硅基新世界

　　河南日报记者 陈辉

　　半导体是数字经济的基石，也是数字化转型的产业支撑。

　　数字化转型战略实施以来，我省制定实施集成电路产业发展行动方案，成立省科学院集成电路研究所，打造河南省集成电路公共研发平台，产业发展驶入了快车道。

　　以洛阳中硅高科技有限公司（以下简称“中硅高科”）为代表的半导体材料企业，在关键核心技术攻关、科研成果转化应用等方面实现了多项突破，多个产品具备进口替代能力，有力支撑了我省电子信息制造业发展。

　　突破卡脖子技术

　　走进位于洛阳市洛龙区的中硅高科，办公楼一楼大厅内，“担国家责任补基础材料短板”的标语十分醒目。

　　“如今，中国光伏产业领跑世界，光伏用多晶硅的国产化就发轫于中硅高科。”中硅高科副总经理赵雄介绍，他们建成了国内第一条具有全部自主知识产权的千吨级多晶硅产业化示范线，有力推动了我国光伏产业的发展。

　　随着光伏用多晶硅市场的变化，中硅高科又把目光瞄准了半导体级多晶硅。

　　在中硅高科的产品展示柜里，陈列着大小不一的硅棒，既有光伏多晶硅，也有半导体级多晶硅。同样是多晶硅，但纯度至少相差2—3个数量级。

　　“去除半导体级多晶硅中的杂质，就像在10亿人里找1个人。”赵雄指着多晶硅形象地比喻。半导体级多晶硅可谓行业高地、技术巅峰，国内市场长期被欧美产品垄断。

　　依靠自主创新，中硅高科在“无路可走”的情况下，硬是闯出了一条路。

　　氢气制备及纯化、合成、氢化、精馏、还原、尾气回收和后处理……中硅高科的研发人员在经历无数的计算、对比、推翻、再确定后，终于突破了高纯多晶硅还原技术等一系列关键技术，生产出合格稳定的电子级多晶硅产品。

　　“短板”变成了转型升级的“跳板”，企业实现高质量发展，也推动我省硅产业向中高端发展。

　　受益于半导体产业国产替代，中硅高科的电子级多晶硅新产品近年来在国内几大头部企业中实现全覆盖。2022年，中硅高科营业收入同比增长104%，利润同比增长269%，上缴税收同比增长156%。

　　持续创新开拓市场

　　走进中硅高科电子气体制备车间，安静整洁，但神奇的变化正在反应器里悄然发生。

　　一块电路芯片的生产过程需要110种电子气体进行构造和塑形，其中硅基电子特气占比近半，它的质量直接影响半导体集成电路芯片的质量和性能。

　　但许多气体国内企业仍无法生产，芯片技术的自主国产化因此也受制于人。

　　以电子级三氯氢硅为例，它是半导体制造过程的关键基础材料，主要应用于硅外延沉积和电子级多晶硅的制造，一度被日本、美国等国企业垄断。

　　“我们的技术团队通过近两年的深入研究，设计出实验方案，顶住压力潜心攻关，进行了数百次的研究论证，终于实现产品的制备，打破了国外的技术垄断。”研发中心刘见华博士说。

　　电子级三氯氢硅逐步打开市场，从最初的公斤级销售，到现在的单次十几吨大规模包装销售，产品也从外延用户走向了芯片制造用户，单个产品实现国内客户的全覆盖，逐步实现进口替代。2022年，电子级三氯氢硅销售达500吨，今年有望突破1000吨。

　　这两年，中硅高科持续攻克以“硅”元素为基础的电子气体，二氯二氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷、四甲基硅烷等产品相继面世，产品广泛应用于国内知名芯片企业，部分产品市场占有率已达30%。特别是六氯乙硅烷在国内外12英寸先进集成电路芯片制造厂已形成稳定用户群体，全球客户覆盖率超30%，市场占有率超10%。

　　良好生态助力发展

　　一块块散发着金属光泽的深灰色电子级多晶硅，在中硅高科车间诞生，这是龙门实验室的重大项目“先进硅基光电功能材料”成果。

　　一年前，瞄准新材料与智能装备关键技术的龙门实验室成立，中硅高科成为重要成员，在与实验室的“共舞”中，获得了更多的智力支持和创新突围的方向。

　　为进一步完善硅基材料集群化布局，中硅高科谋划上马了电子信息材料转型升级项目。

　　4月9日，记者来到位于洛阳市孟津区的中硅高科新厂区，这里一片繁忙，一个个储罐、一条条管道勾勒着新工厂的未来。

　　该项目于2021年8月动工，总占地715亩，总投资42亿元。经过近两年的努力，已完成一期工程建设。去年底以来，各种设备陆续进厂安装，目前正在进行最后的调试。

　　“新项目在4月份试生产，在建设过程中得到了各级各部门的有力支持。”赵雄说，新项目不仅是一次厂区搬迁，更是一次转型升级，无论是技术、规模、效益，都将有很大的提升。

　　该项目投产的多个产品有望填补国内高端硅基材料的空白，全部建成后将成为我国重要的区熔级多晶硅、电子气体等基础材料的创新中心和基地，为洛阳市打造千亿级电子信息产业集群提供有力支撑。

　　项目的效益更是可观，一期项目投产后可实现销售收入超5亿元，利润超1亿元；二期项目投产后可实现销售收入超20亿元，利润超5亿元；同时带动下游区熔棒、半导体晶圆等技术进步和产业化建设，打造一个产业链协同发展的电子信息材料产业园。

　　“关注一批、研发一批、突破一批”，中硅高科目前正在中试的10种国内完全依赖进口的关键基础性材料已通过测试认证，并完成产业化建设可行性研究论证。

　　“我们将立足集成电路、光通信及新能源行业发展所需高端硅基材料，逐步向相关技术领域延伸，打造国家前瞻性基础材料创新中心，致力成为世界一流高端基础材料发展商，引领河南半导体材料产业跨越升级。”赵雄表示。

　　专家点评

　　积极打造国家级数字产业集群

　　调研组专家、河南省社科院数字经济与工业经济研究所副研究员 刘晓萍

　　数字核心产业是数字经济体系建设的主体内容，更是驱动传统产业数字化转型的重要基础。伴随着新一代信息技术的创新迭代，新理论、新硬件、新软件、新算法层出不穷，新型数字产业体系正在加速形成。

　　新发展阶段下，河南坚持“硬件软件”双路突破加快发展数字核心产业，2022年全省规上电子信息制造业增加值同比增长16.7%、高于工业平均增速9.1个百分点。智能终端、智能传感器、先进计算、网络安全等特色领域强化优势，量子信息、元宇宙、区块链等新赛道全力突破，黄河信产、浪潮、长城、中科曙光、超聚变等一批生态型数字产业项目落地达产，数字经济核心产业发展水平与创新策源能力明显提升。

　　伴随着数字化转型战略的持续深入，我省应聚力全链条壮大数字核心产业，积极打造国家级数字产业集群，一方面注重释放头部企业引领效应，聚焦先进计算、信息安全、集成电路、智能传感器等领域，引进培育数字经济链主型、生态型、平台型项目，打造“引进一个、带动一批、辐射一片”的产业发展格局；另一方面积极引育数字产业化平台，发挥国家级大数据综合试验区、新一代人工智能创新发展试验区、区块链发展先导区等国家级平台，引进培育数字技术创新平台、产业大脑平台、城市大脑平台。

　　数说2022年

　　全省规上电子信息制造业增加值同比增长16.7%高于工业平均增速9.1个百分点

　　8月郑州数据交易中心揭牌运营当日实现交易额3805.5万元

　　全省生产手机1.56亿部，产量占全国十分之一，其中智能手机9548万部

　　认定省级首版次软件产品44项软件产业园区9家

　　成立30亿元河南省数字经济引导基金

　　数据整理/陈辉

　　大事记

　　2022年8月6日

　　河南省区块链产业园区正式揭牌

　　2022年8月10日

　　“河南一号”卫星成功发射

　　2022年8月21日

　　世界传感器大会在郑州开幕，我省搭建了全球传感业界最有影响力的交流对接平台

　　2022年8月27日

　　郑州元宇宙产业园举行开工仪式，为数字产业积聚力量

　　2022年8月

　　国产CPU龙头企业龙芯中科与河南省政府签署战略合作框架协议，围绕集成电路、基础软件等领域开展全面合作。

　　2022年9月8日

　　郑州市获批创建国家区块链发展先导区

　　2022年9月20日

　　印发《河南省卫星产业发展规划》

　　2022年9月27日

　　我省举行2022数字经济峰会暨新基建创新发展大会

　　文字整理/陈辉

　　编辑：李恒